美國TESCOM高純度高流量在線調(diào)節(jié)器調(diào)壓閥 23系列 特點介紹

TESCOM 23 系列超高純度在線調(diào)節(jié)器提供 10 Ra 微英寸精加工，具有高達 950 SLPM 的流量能力。

23 系列提供無彈簧和無螺紋的內(nèi)部設(shè)計，入口壓力為 250 psi/17.2 bar，出口壓力高達 100 psi/6.9 bar。

應(yīng)用

· 高流量直通式流量調(diào)節(jié)器，適用于沖洗

· 特點和優(yōu)勢· 順暢無阻的流動路徑，適用于沖洗

· 無彈簧和螺紋結(jié)構(gòu)，可最大限度減少顆粒產(chǎn)生

· 帶有可定位閥帽的陽密封

· 金屬對金屬隔膜與主體密封，可形成的氣密性

· 符合SEMI F19、UHP等級標準

美國TESCOM高純度高流量在線調(diào)節(jié)器調(diào)壓閥 23系列 規(guī)格參數(shù)

最大進口壓力150或250磅/平方英寸10.3或17.2巴出口壓力范圍0-30,0-60,0-100磅/平方英寸0-2.1,0-4.1,0-6.9巴設(shè)計驗證壓力最大額定值的150%認證最大內(nèi)置泄漏率<1 x 10-9 atm cc/sec He操作溫度特氟隆®座:-40°F到160°F/ -40°C到71°C PCTFE座:-40°到140°F/ - 40°C到60°C流體容量Cv=1.8介質(zhì)接觸材料閥體316L VAR不銹鋼電拋光閥座特氟隆®或PCTFE膜片316L不銹鋼閥桿316L不銹鋼密封件316不銹鋼剩余零件316不銹鋼