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日本ARK高輸出型晶圓周邊曝光UV-LED光源

日本ARK高輸出型晶圓周邊曝光UV-LED光源
這款產品專門用于半導體晶圓周邊曝光,支持g線和i線光刻膠,并且具有高輸出能力

  • 產品型號:EW04S
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2025-10-23
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詳細介紹

日本ARK高輸出型晶圓周邊曝光UV-LED光源
日本ARK高輸出型晶圓周邊曝光UV-LED光源

這款產品專門用于半導體晶圓周邊曝光,支持g線和i線光刻膠,并且具有高輸出能力。以下是該產品的詳細信息:

產品特點

  • 通過獨特的光學設計,實現(xiàn)了超過7,000mw/cm2的高輸出。
  • 特別適合處理以前需要較長處理時間的厚膜光刻膠。
  • 能夠大幅縮短曝光處理時間,顯著提高晶圓處理數(shù)量。

規(guī)格

  • 使用環(huán)境溫度:5~40℃(無結露)
  • 電源電壓:單相 100~240V
  • 電源頻率:50/60Hz
  • 發(fā)光峰值波長:365±5nm
  • 光輸出穩(wěn)定性:±5%以內
  • 初始紫外線強度:2000mw/cm2以上(在365nm波長下,距離掩模0.5mm處)
  • 強度分布均勻性:4×5mm區(qū)域內10%以下
  • 紫外線發(fā)光源:UV-LED
  • 紫外線發(fā)光源壽命:20000小時(預計壽命,在驅動電流最大時)
  • 照射ON/OFF功能:UV-LED的ON/OFF控制(可通過遠程和手動控制進行點亮/熄滅)
  • 光量調整功能:通過調整UV-LED電流,光量調整范圍為20~100%
  • 外殼材質:不銹鋼
  • 外形尺寸:150(W) × 200(D) × 192(H) mm
EW04S是一款高效、節(jié)能且環(huán)保的UV-LED光源,適用于半導體制造過程中的晶圓周邊曝光,能夠滿足高精度和高效率的生產需求。


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