日本P.R.A.靜電卡盤ESC高壓電源電壓可調(diào)

日本P.R.A.靜電卡盤ESC高壓電源電壓可調(diào)
電極附近出現(xiàn)反極性電荷，陶瓷表面則感應(yīng)出同極性電荷。當(dāng)硅片靠近時(shí)，片內(nèi)誘導(dǎo)電荷與表面電荷相互吸引，產(chǎn)生吸附力。吸力大小與表面電荷量成正比，而電荷量由高壓電源精確控制。

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更新時(shí)間：2025-12-13
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日本P.R.A.靜電卡盤ESC高壓電源電壓可調(diào)

ESC 是什么？半導(dǎo)體硅片或 LCD 玻璃基板在真空腔室內(nèi)必須被“無夾持"固定。傳統(tǒng)機(jī)械爪易劃傷、局部應(yīng)力大；真空吸盤又無法在真空中工作。于是利用靜電力：在陶瓷盤內(nèi)部埋設(shè)一對(duì)電極，通高壓后形成“庫侖吸盤"，即靜電卡盤（ESC）。該方法已廣泛用于 PVD、CVD、ETCH 等制程。

半導(dǎo)體前段制程專用
靜電卡盤（ESC）高壓電源 – 產(chǎn)品規(guī)格書

電氣規(guī)格（可定制）

輸出電壓：±1 kV ～ ±5 kV（連續(xù)可調(diào)）
輸出電流：1 ～ 10 mA
極性：?jiǎn)螛O / 雙極可選
中心抽頭（Bias）：Floating / FG / Bias 三種接法
遠(yuǎn)程接口：數(shù)字 I/O、RS-232C（可擴(kuò)展 LAN、USB）
環(huán)保：符合 RoHS

核心優(yōu)勢(shì)

原位替換：保持原安裝孔位與接口，直接替換現(xiàn)有進(jìn)口電源
多重保護(hù)：過流限制、極性反接、電弧放電抑制，提升工藝良率
接口齊全：?jiǎn)慰谛?、J-R 型、多通道陣列等 ESC 規(guī)格全對(duì)應(yīng)

電極附近出現(xiàn)反極性電荷，陶瓷表面則感應(yīng)出同極性電荷。當(dāng)硅片靠近時(shí)，片內(nèi)誘導(dǎo)電荷與表面電荷相互吸引，產(chǎn)生吸附力。吸力大小與表面電荷量成正比，而電荷量由高壓電源精確控制。

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