Yamada山田光學(xué)潔凈室晶圓檢測(cè)鹵素光源

Yamada山田光學(xué)潔凈室晶圓檢測(cè)鹵素光源

1. 試樣表面照度 ≥ 400 000 lx
2. 鹵素?zé)羯珳馗?，光斑銳利、照明均勻且穩(wěn)定
3. 采用冷光鏡，熱輻射僅為傳統(tǒng)鋁鏡的 1/3，樣品溫升極小
4. 兩段亮度切換機(jī)構(gòu)，一鍵實(shí)現(xiàn)高照度/低照度觀察
• YP-150I：照射范圍 φ30 mm
• YP-250I：照射范圍 φ60 mm（可選軸流風(fēng)扇型或管道風(fēng)扇型）

高亮度鹵素光源裝置是潔凈室內(nèi)半導(dǎo)體晶圓表面品質(zhì)管理的工具，憑借高照度照明，可識(shí)別表面小至 0.2 μm 的微小顆粒。

1. 光學(xué)性能
• 中心照度：≥ 400 000 lx（照射區(qū) φ60 mm）
• 可識(shí)別粒子：0.2 μm 級(jí)（取決于操作者與環(huán)境）
• 色溫：3 200 K 鹵素?zé)?，顯色指數(shù) Ra≈100，缺陷與底色對(duì)比度高
• 冷光鏡 + 二向色濾熱片，紅外輻射量 ≤ 傳統(tǒng)鋁鏡 1/3，樣品溫升 < +2 ℃（30 s 照射）
2. 亮度控制
• 2 段切換：高照度（HI）/低照度（LO）一鍵切換，無需關(guān)燈換檔
• 調(diào)光范圍：20 %–100 % 連續(xù)可調(diào)（選配外部調(diào)光器）
3. 機(jī)型與散熱
• YP-250I/AF：軸流風(fēng)扇型，頂部排熱，適合層流罩內(nèi)單機(jī)使用
• YP-250I/DF：管道風(fēng)扇型，可外接 ?100 mm 風(fēng)管，將熱排至下技術(shù)夾層，滿足 ISO 5（100 級(jí)）以上區(qū)域

  
  

• 典型應(yīng)用
• 12-300 mm 半導(dǎo)體晶圓：劃痕、霧斑 (Haze)、Slip、研磨痕、CMP 殘留
• 液晶面板：玻璃基板劃傷、顆粒污染、ITO 成膜缺陷
• 掩模版、光掩膜：鉻膜缺陷、微粒檢查