韓國PlayTG半導體高純度氣體輸送擴散器
韓國PlayTG半導體高純度氣體輸送擴散器

• 產(chǎn)品名稱：BIKAL™ DF系列高純度氣體擴散器
• 產(chǎn)品類型：氣體擴散器（Gas Diffuser）
• 應用領(lǐng)域：半導體和顯示制造工藝中的氣體輸送系統(tǒng)

主要功能與優(yōu)勢

1. 快速排氣擴散 – 縮短腔體抽真空/通氣時間，提高產(chǎn)能
2. 高純度設計 – 所有潤濕表面電解拋光，顆粒析出極低
3. 低壓損 – 特殊流道設計，保證大流量同時壓降最小
4. 結(jié)構(gòu)緊湊 – 可直接安裝在氣柜或腔體入口，節(jié)省空間
5. 高可靠性 – 全金屬密封，氦檢漏 ≤1×10?? cc/sec

技術(shù)規(guī)格（公稱值）

典型型號與尺寸（單位：mm）

應用場景

• 晶圓傳輸腔體（Loadlock）快速 vent
• 工藝腔體初始充氮或清潔干燥空氣
• AMHS 設備內(nèi)微環(huán)境氣體均衡
• 任何需要“高速、低顆粒、低波動"擴散的超高純氣體節(jié)點

DF 系列擴散器通過多孔金屬燒結(jié)濾芯將高速氣流瞬間分散成低速、均勻、低湍流的氣體云，從而顯著降低顆粒產(chǎn)生和壓力沖擊，是半導體廠高產(chǎn)出、低缺陷率的關(guān)鍵部件之一。