日本daiwatechno電子顯微鏡用電子發(fā)射槍

日本daiwatechno電子顯微鏡用電子發(fā)射槍

 熱電子槍（Thermal Electron Gun）

• 工作原理：利用熱能釋放電子
• 主要材料：鎢絲（陰極材料）
• 應(yīng)用：普及型電子顯微鏡的標(biāo)準(zhǔn)配置

2. 產(chǎn)品特點

• 預(yù)對中型（Pre-centered type）：無需對中調(diào)整，安裝簡便
• Wehnelt一體型：無需用戶清潔Wehnelt電極，降低燈絲破損風(fēng)險
• 定制服務(wù)：可承接電子槍單元的整體組裝制造

技術(shù)優(yōu)勢

材料品質(zhì)

• 使用高品位材料，能在約2500℃的嚴(yán)苛環(huán)境下保持性能
• 專門開發(fā)的燈絲焊接設(shè)備
• 可焊接從φ0.02mm極細(xì)線到φ0.5mm極粗線

制造工藝

• 熟練技工進(jìn)行精密焊接
• 高精度尺寸檢查和外觀檢查
• 50多年積累的核心技術(shù)和專業(yè)知識

產(chǎn)品類型

熱電子槍材質(zhì)

• 燈絲：W（鎢）、Re-W（錸鎢）、Re（錸）等
• 形狀：尖銳型、半尖型、尖型等多種形狀
• 支撐部件：Kovar（可伐合金）、Mo（鉬）、Ta（鉭）等

冷陰極場發(fā)射電子槍

• 特點：需要比熱電子型更高的加工技術(shù)
• 應(yīng)用：主要用于研究機(jī)構(gòu)和大學(xué)的試制品制造
• 技術(shù)：鎢材焊接、單晶芯片研磨等特殊技術(shù)

熱電子銃の構(gòu)造及び製造特徴

材質(zhì)：W、Re-W、Re、など

多種多様な先端形狀（シャープド型、セミポイント型、ポイント型）

材質(zhì)：Kovar、Mo、Ta

• コバール(Kovar)鉄ニッケル系合金で、ガラスでの封止ができるため、真空部品で広く使われています。

• モリブデン（Mo）非磁性の高融點金屬として、電子光學(xué)の高級部材です。主にメタライズろう付けで品に使われます。高融點材同士での溶接には高い技術(shù)を要します。

• タンタル（Ta）Moと同じく非磁性の高融點金屬として、高級品で用いられますが、ガラスシールでの固定も可能です。やはり高融點材料同士の溶接には、大変技術(shù)を要します。

材質(zhì)：アルミナ（Al2O3）、ステアタイト（MgO-SiO）

細(xì)線とピンの結(jié)合：スポット溶接

ピンとセラミックの結(jié)合：ロウ付け、ガラスシール

• ロウ付けセラミック表面にメタライズ処理を施し、ロウ付けでの場合、封止を行う方法です。

• ガラスシール熱膨張率を調(diào)整したガラス（コバールガラス）を用いて、セラミックとピンを固定します。コストと納期はロウ付けよりメリットがありますが、気密性と使用溫度に條件がつきます。