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日本nasgiken金屬物質(zhì)自動回收設(shè)備NAC系列 NAC-302 ●硅片的處理過程是自動化的，從氣相分解到污染物回收再到收集樣品的稀釋。 ●疏水性和親水性晶圓均可收集（斜面收集只能收集疏水性晶圓）。 ●當(dāng)需要同時對大量晶圓進(jìn)行采樣和分析時，這是一種極其強(qiáng)大的設(shè)備。 ●具有對回收的藥液進(jìn)行計量和稀釋的功能，防止晶圓上殘留的藥液繼續(xù)作業(yè)。