日本HORIBA崛場半導(dǎo)體領(lǐng)域微量氣體分析儀
日本HORIBA崛場半導(dǎo)體領(lǐng)域微量氣體分析儀

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 超高靈敏度分析：采用交叉調(diào)制方式非分散紅外吸收法(NDIR)，實(shí)現(xiàn)長期穩(wěn)定連續(xù)測量，達(dá)到零漂移。
• 高靈敏度：最小檢測限為10 ppb，適合需要高精度的現(xiàn)場使用。
• 純氣體中的微量測量：支持氮?dú)?N?)、氧氣(O?)、氦氣(He)、氬氣(Ar)、氫氣(H?)、空氣(Air)等代表性氣體的微量測量。對于其他基礎(chǔ)氣體的測量需求，請聯(lián)系廠家咨詢。
• 簡單操作，免維護(hù)：無需特殊操作，所有操作包括校準(zhǔn)和測量都可以在屏幕上完成。采用HORIBA交叉調(diào)制方式非分散紅外吸收法，無需光學(xué)調(diào)整，實(shí)現(xiàn)免維護(hù)。配備彩色觸摸屏，液晶屏可顯示圖表，提高可視性。

應(yīng)用示例

• 空氣分離工廠中的雜質(zhì)氣體監(jiān)控：工業(yè)用氣體如氧氣和氮?dú)馔ǔＳ煽諝夥蛛x工廠制造。原料空氣(Air)經(jīng)過去除水分(H?O)和二氧化碳(CO?)后，利用沸點(diǎn)差異等方法分離制造氮?dú)?N?)、氬氣(Ar)、氧氣(O?)。一些工廠還生產(chǎn)稀有氣體等。這些氣體的純度和質(zhì)量管理中使用了HORIBA的微量氣體分析儀。

測量原理

• 交叉調(diào)制式非分散紅外吸收法（雙光束）：利用一定周期切換的電磁閥，使樣品氣體和參比氣體交替流入同一個(gè)氣體池，獲得調(diào)制的被測氣體濃度信號。這種方法在樣品氣體和參比氣體相同（零點(diǎn)）時(shí)不產(chǎn)生調(diào)制信號，且無需使用旋轉(zhuǎn)扇區(qū)等機(jī)械結(jié)構(gòu)，從而獲得長期穩(wěn)定的輸出信號。同時(shí)，檢測器內(nèi)的電容麥克風(fēng)膜片左右移動(dòng)，獲得旋轉(zhuǎn)扇區(qū)使用時(shí)兩倍的信號量，提高信噪比。下圖顯示了交叉調(diào)制式非分散紅外吸收法（雙光束）的噪聲水平，非常低且穩(wěn)定。這樣，在高純度氣體中的微量濃度測量中，也實(shí)現(xiàn)了零漂移的長期穩(wěn)定測量和低噪聲水平。