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產(chǎn)品展示/ Product display

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HORIBA崛場零漂移高靈敏度微量氣體分析儀

HORIBA崛場零漂移高靈敏度微量氣體分析儀
微量氣體分析儀GA-370是一款高精度氣體分析儀,能夠以ppb級別持續(xù)監(jiān)測氫氣站、氫氣精制PSA系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造等高純度工業(yè)氣體生產(chǎn)設(shè)備中的微量雜質(zhì)氣體,為質(zhì)量管理提供支持。該儀器可同時測量兩種成分。

  • 產(chǎn)品型號:GA-370
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2025-10-11
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詳細介紹

HORIBA崛場零漂移高靈敏度微量氣體分析儀
HORIBA崛場零漂移高靈敏度微量氣體分析儀

產(chǎn)品特點

  • 超高靈敏度分析:采用交叉調(diào)制方式非分散紅外吸收法(NDIR),實現(xiàn)長期穩(wěn)定連續(xù)測量,達到零漂移。
  • 高靈敏度:最小檢測限為10 ppb,適合需要高精度的現(xiàn)場使用。
  • 純氣體中的微量測量:支持氮氣(N?)、氧氣(O?)、氦氣(He)、氬氣(Ar)、氫氣(H?)、空氣(Air)等代表性氣體的微量測量。對于其他基礎(chǔ)氣體的測量需求,請聯(lián)系廠家咨詢。
  • 簡單操作,免維護:無需特殊操作,所有操作包括校準和測量都可以在屏幕上完成。采用HORIBA交叉調(diào)制方式非分散紅外吸收法,無需光學(xué)調(diào)整,實現(xiàn)免維護。配備彩色觸摸屏,液晶屏可顯示圖表,提高可視性。

應(yīng)用示例

  • 空氣分離工廠中的雜質(zhì)氣體監(jiān)控:工業(yè)用氣體如氧氣和氮氣通常由空氣分離工廠制造。原料空氣(Air)經(jīng)過去除水分(H?O)和二氧化碳(CO?)后,利用沸點差異等方法分離制造氮氣(N?)、氬氣(Ar)、氧氣(O?)。一些工廠還生產(chǎn)稀有氣體等。這些氣體的純度和質(zhì)量管理中使用了HORIBA的微量氣體分析儀。

測量原理

  • 交叉調(diào)制式非分散紅外吸收法(雙光束):利用一定周期切換的電磁閥,使樣品氣體和參比氣體交替流入同一個氣體池,獲得調(diào)制的被測氣體濃度信號。這種方法在樣品氣體和參比氣體相同(零點)時不產(chǎn)生調(diào)制信號,且無需使用旋轉(zhuǎn)扇區(qū)等機械結(jié)構(gòu),從而獲得長期穩(wěn)定的輸出信號。同時,檢測器內(nèi)的電容麥克風(fēng)膜片左右移動,獲得旋轉(zhuǎn)扇區(qū)使用時兩倍的信號量,提高信噪比。下圖顯示了交叉調(diào)制式非分散紅外吸收法(雙光束)的噪聲水平,非常低且穩(wěn)定。這樣,在高純度氣體中的微量濃度測量中,也實現(xiàn)了零漂移的長期穩(wěn)定測量和低噪聲水平。



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