極少量から精密に噴霧し、平均粒子徑 5μm 程度の超微粒子を得ることができます。非常に小型なノズルで、20?750ワットのエアーコンプレッサーで運(yùn)転が可能です。主な使用用途に、表面薄膜コーティングや科學(xué)?醫(yī)療分野における極少量の噴霧、室內(nèi)や各施設(shè)などの殺菌、消毒などがあります。
AM6、12型は 極めて少ない流量を微細(xì)な粒子で噴霧する作業(yè)に適しております。圧縮気體流量も従來(lái)ノズルに比較し小流量です。主な使用用途として、半導(dǎo)體ウェハーへの精密スプレイ、電子部品?機(jī)能材料の製造工程における薄膜形成、散布?コーティングが挙げられます。