日本micro-granite無損裸晶圓平整度測定機(jī)

日本micro-granite無損裸晶圓平整度測定機(jī)
Waferom 300 是一種用于裸晶圓的多功能測量設(shè)備。它利用硅傳輸位移傳感器進(jìn)行非接觸式檢測硅晶圓的厚度。為了在測量過程中盡量減少任何震動，該設(shè)備在Y軸（前后軸）和θ軸（旋轉(zhuǎn)軸）上采用了高精度的氣動軸承，這些軸承使用了來自印度的黑色花崗巖，確保了晶圓厚度的精確檢測。通過將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行分析，Waferom 300 能夠評估諸如全局平整

產(chǎn)品型號：Wafecom 300
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2025-11-01
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