日本technomu非接觸式晶圓薄膜厚度測(cè)量?jī)x
日本technomu非接觸式晶圓薄膜厚度測(cè)量?jī)x

• 支持最大 12 英寸晶圓的高精度測(cè)厚
• 高速測(cè)量，適合量產(chǎn)全檢
• 非接觸，無(wú)損傷風(fēng)險(xiǎn)
• 受材質(zhì)影響極小
• 適用范圍廣：晶圓、金屬磨削件、透明玻璃等
• 可預(yù)設(shè)判定閾值，自動(dòng)輸出 OK/NG
• 支持全自動(dòng)、半自動(dòng)及按工件尺寸定制

• 測(cè)量范圍：2 英寸 – 12 英寸以上
• 測(cè)量方式：掃描式
• 可用激光：光譜干涉、多激光同軸
• 分辨率：最高 0.001 µm

專(zhuān)為薄膜/晶圓厚度測(cè)量設(shè)計(jì)的新型非接觸測(cè)厚系統(tǒng)

? 主要特點(diǎn)

• 專(zhuān)為薄膜厚度測(cè)量?jī)?yōu)化
• 最大支持12英寸工件
• 非接觸測(cè)量，不會(huì)損傷工件表面
• 搭載X軸與旋轉(zhuǎn)軸平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)測(cè)量
• 自動(dòng)判定OK/NG，適合在線(xiàn)全檢
• 高精度且穩(wěn)定性強(qiáng)
• 可測(cè)蒸鍍樹(shù)脂膜、PET等多種薄膜
• 基距（傳感器間距）可調(diào)，適應(yīng)狹小空間高精度測(cè)量
• 結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省空間
• 自動(dòng)生成管理報(bào)表，便于質(zhì)量追溯

? 應(yīng)用示例

• 晶圓、玻璃、金屬研磨件表面薄膜厚度檢測(cè)
• 透明/鏡面材料無(wú)損測(cè)厚
• 量產(chǎn)線(xiàn)上自動(dòng)判定合格品與不良品