日本tecnostrap半導(dǎo)體制造HOT N? 加熱器

日本tecnostrap半導(dǎo)體制造HOT N? 加熱器
半導(dǎo)體與液晶制造設(shè)備的排氣管道常被大量粉末污染，存在堵塞風(fēng)險(xiǎn)。
HOT N? 加熱器利用現(xiàn)有稀釋氮?dú)猓统杀炯纯深A(yù)防并解決上述問(wèn)題。
同時(shí)還可縮短低溫泵再生時(shí)間，并可用于加載鎖腔體的潔凈吹掃。

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更新時(shí)間：2025-11-29
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日本tecnostrap半導(dǎo)體制造HOT N? 加熱器
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HOT N? 加熱器——讓真空排氣管道時(shí)刻保持清潔的新工具

半導(dǎo)體與液晶制造設(shè)備的排氣管道常被大量粉末污染，存在堵塞風(fēng)險(xiǎn)。
HOT N? 加熱器利用現(xiàn)有稀釋氮?dú)?，低成本即可預(yù)防并解決上述問(wèn)題。
同時(shí)還可縮短低溫泵再生時(shí)間，并可用于加載鎖腔體的潔凈吹掃。

與傳統(tǒng)技術(shù)的對(duì)比
以往僅在管道外側(cè)包覆保溫層，內(nèi)壁仍可能局部過(guò)冷；形狀復(fù)雜處保溫不足，粉末會(huì)附著、生長(zhǎng)并最終堵塞。
HOT N? 加熱器則將加熱后的 N? 直接通入管道內(nèi)部，使整管均勻升溫，不受管路形狀限制，全面抑制粉末析出，防止堵塞。

安裝方法
安裝在真空泵出口或排氣管路的任意位置。若已有稀釋 N? 入口，直接接入即可，無(wú)需額外改造。

HOT N? 加熱器——讓真空排氣管道時(shí)刻保持清潔的新工具

半導(dǎo)體與液晶制造設(shè)備的排氣管道常被大量粉末污染，存在堵塞風(fēng)險(xiǎn)。
HOT N? 加熱器利用現(xiàn)有稀釋氮?dú)猓统杀炯纯深A(yù)防并解決上述問(wèn)題。
同時(shí)還可縮短低溫泵再生時(shí)間，并可用于加載鎖腔體的潔凈吹掃。

安裝方法
安裝在真空泵出口或排氣管路的任意位置。若已有稀釋 N? 入口，直接接入即可，無(wú)需額外改造。

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